特許
J-GLOBAL ID：201703000803412799
基板処理のための分光反射率計付き装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-085645
公開番号（公開出願番号）：特開2016-212096
出願日： 2016年04月22日
公開日（公表日）： 2016年12月15日
要約：
【解決手段】基板を計測するための分光反射率計システムが設けられる。光源が設けられ、少なくとも1つの光検出器が設けられる。光ケーブルは、複数の光ファイバを備え、複数の光ファイバは、光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、光路から少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む。光路にはマイクロレンズアレイが設けられる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を計測するための分光反射率計システムであって、
光源と、
少なくとも1つの光検出器と、
複数の光ファイバを備える光ケーブルであって、前記複数の光ファイバは、前記光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、前記光路から前記少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む、光ケーブルと、
前記光路におけるマイクロレンズアレイと、
を備える、分光反射率計システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/27 B
, H01L21/302 103
2G059AA05
, 2G059BB16
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE12
, 2G059JJ03
, 2G059JJ06
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
, 2G059MM10
, 2G059PP06
, 5F004BA20
, 5F004CB02
, 5F004CB15
