特許

J-GLOBAL ID：201703000981735763

3次元形状測定装置および3次元形状測定方法

発明者： 瀬戸 貴公
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-068637
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181298
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】濃度レンジの広い測定対象物の3次元形状を、高精度かつ、少ない撮像枚数で測定可能な3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】輝度が周期的に変化する縞パターンと、縞パターンの複数の周期のうち少なくとも1つの周期の位置を基準位置として示す基準位置パターンとを測定対象物に投影する投影手段と、測定対象物を複数の方向から撮像する撮像手段と、投影手段と撮像手段とを制御する制御手段であって、縞パターンが投影された際に、撮像手段が複数の露出条件で測定対象物を複数の方向から撮像するよう制御を行って縞パターンの撮像画像を取得し、基準位置パターンが投影された際に、撮像手段が1つの露出条件で測定対象物を複数の方向から撮像するよう制御を行って基準位置パターンの撮像画像を取得する、制御手段と、縞パターンの撮像画像および基準位置パターンの撮像画像に基づいて、測定対象物の3次元形状を算出する形状算出手段とを有することを特徴とする。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

輝度が周期的に変化する縞パターンと、前記縞パターンの複数の周期のうち少なくとも1つの周期の位置を基準位置として示す基準位置パターンとを測定対象物に投影する投影手段と、 前記測定対象物を複数の方向から撮像する撮像手段と、 前記投影手段と前記撮像手段とを制御する制御手段であって、前記縞パターンが投影された際に、前記撮像手段が複数の露出条件で前記測定対象物を前記複数の方向から撮像するよう制御を行って前記縞パターンの撮像画像を取得し、前記基準位置パターンが投影された際に、前記撮像手段が1つの露出条件で前記測定対象物を前記複数の方向から撮像するよう制御を行って前記基準位置パターンの撮像画像を取得する、前記制御手段と、 前記縞パターンの撮像画像および前記基準位置パターンの撮像画像に基づいて、前記測定対象物の3次元形状を算出する形状算出手段と を有することを特徴とする3次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B11/25 H ,  G06T1/00 315

Fターム (37件)：

2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065BB26 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF07 ,  2F065FF09 ,  2F065GG07 ,  2F065HH02 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ51 ,  2F065SS13 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CE08 ,  5B057CE12 ,  5B057DA20 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 3次元計測装置及び3次元計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-150585   出願人：株式会社三次元メディア
• 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-240961   出願人：株式会社ニコン