特許
J-GLOBAL ID：201703000986608239
マイクロ電気機械システムおよびマイクロ電気機械システムの使用
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-517289
特許番号：特許第6138250号
出願日： 2013年05月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロ電気機械システム(MEMS)において可動質量体の変位を測定する方法であって、
前記可動質量体が第1の変位停止表面と実質的に静止して接触する第1の位置に前記可動質量体を移動させるステップと、
コントローラを使用して、前記可動質量体が前記第1の位置にある間に、2つの離間した感知キャパシタのそれぞれの容量の間の第1の差分を自動的に測定するステップであって、前記2つの感知キャパシタの各々は、前記可動質量体に取り付けられ、かつ、前記可動質量体と共に移動可能であるそれぞれの第1の極板と、所定の位置に実質的に固定されるそれぞれの第2の極板とを含む、ステップと、
前記第1の変位停止表面から離間している第2の変位停止表面と前記可動質量体が実質的に静止して接触する第2の位置に、前記可動質量体を移動させるステップと、
前記コントローラを使用して、前記質量体が前記第2の位置にある間に、前記それぞれの容量の間の第2の差分を自動的に測定するステップと、
前記第1および前記第2の変位停止表面から前記可動質量体が実質的に離間している基準位置に前記可動質量体を移動させるステップであって、前記第1の位置と前記基準位置との間の第1の距離が、前記第2の位置と前記基準位置との間の第2の距離とは異なる、ステップと、
前記コントローラを使用して、前記可動質量体が前記基準位置にある間に、前記それぞれの容量の間の第3の差分を自動的に測定するステップと、
前記コントローラを使用して、前記測定された第1の差分と、前記測定された第2の差分と、前記測定された第3の差分と、前記第1および第2の位置にそれぞれ対応する第1および第2の選択されたレイアウト距離とを使用して駆動定数を自動的に計算するステップと、
前記コントローラを使用して、前記可動質量体を試験位置に移動させるように駆動信号をアクチュエータに自動的に印加するステップと、
前記コントローラを使用して、前記可動質量体が前記試験位置にある間に、前記それぞれの容量の間の第4の差分を自動的に測定するステップと、
前記コントローラを使用して、前記計算された駆動定数および前記測定された第4の差分を使用して前記試験位置における前記可動質量体の前記変位を自動的に決定するステップと、
を備える方法。
IPC (6件)：
B81C 99/00 ( 201 0.01)
, G01C 19/5762 ( 201 2.01)
, G01P 21/00 ( 200 6.01)
, G01K 11/00 ( 200 6.01)
, G01Q 40/00 ( 201 0.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
B81C 99/00
, G01C 19/576
, G01P 21/00
, G01K 11/00 Z
, G01Q 40/00
, B81B 3/00
