特許
J-GLOBAL ID：201703001239991364
ノボラック型フェノール性水酸基含有樹脂及びレジスト膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 通洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-560022
特許番号：特許第6156591号
出願日： 2016年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】下記構造式(1)
[式中、Arは下記構造式(Ar-1)又は(Ar-2)
(式中nはそれぞれ独立に0〜2の整数、pは0〜5の整数、qは0〜7の整数であり、R2はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかである。)
で表される構造部位であり、R1はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、mはそれぞれ独立に0〜4の整数である。]
で表されるフェノール性水酸基含有化合物(A)、下記構造式(2)
[式中R3は炭素原子数4〜20の脂肪族炭化水素基であり、jは1〜3の整数である。R4はそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数1〜3のアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、kは0〜(5-j)の整数である。]
で表されるフェノール性水酸基含有化合物(B)及びアルデヒド化合物(C)を必須の反応成分とする重縮合物であって、前記フェノール性水酸基含有化合物(A)とフェノール性水酸基含有化合物(B)とのモル比[(A):(B)]が100:0.1〜100:30の範囲であることを特徴とするノボラック型フェノール性水酸基含有樹脂。
IPC (2件)：
C08G 8/24 ( 200 6.01)
, G03F 7/023 ( 200 6.01)
C08G 8/24
, G03F 7/023 511
