特許
J-GLOBAL ID：201703001294606135
洗浄装置
出願人/特許権者：
三浦工業株式会社
三浦工業株式会社 について
代理人 (2件)： 岩池 満 , 加藤 竜太
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-187909
公開番号（公開出願番号）：特開2014-042899
特許番号：特許第6056272号
出願日： 2012年08月28日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内部に洗浄液が貯留され、その洗浄液に被洗浄物を浸漬させる洗浄槽と、
前記洗浄槽の内部の底部側に貯留される洗浄液を加熱する加熱部と、前記洗浄槽の内部を減圧して前記加熱部により加熱された洗浄液を沸騰させる減圧部と、を有する加熱減圧手段と、
前記洗浄槽の内部の底部側に貯留される洗浄液の温度を検出する温度検出部と、
前記洗浄槽の内部の気相部の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記加熱減圧手段により前記洗浄槽の内部を減圧して前記洗浄槽の内部に貯留される洗浄液が沸騰されている間において、前記温度検出部により検出される温度が予め設定される第1設定温度値を下回り且つ前記圧力検出手段により検出される前記洗浄槽の内部の気相部の圧力が予め設定される第1設定圧力値を下回る場合に、前記洗浄槽の内部に貯留される洗浄液を予め設定される第1加熱時間加熱するように前記加熱減圧手段を制御する制御部と、
を備える洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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