特許

J-GLOBAL ID：201703001343262390

パターニング装置、位置決め装置の制御方法、物品の製造方法

発明者： 山田 雅教
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-248206
公開番号（公開出願番号）：特開2017-097362
出願日： 2016年12月21日
公開日（公表日）： 2017年06月01日
要約：

【課題】 位置計測手段を切り替える位置決め装置において、従来よりも位置決め精度を高めることが可能なパターニング装置を提供すること。【解決手段】 本発明は移動体上の基板の第1領域および第2領域に対してパターンを形成するパターニング装置に関する。移動体を位置決めする位置決め装置において、制御手段は、移動体の第1方向における位置指令情報と位置情報とに応じた制御偏差と、所定の値の制御パラメータと、に基づいて移動体を第1方向に駆動可能な駆動手段を制御し、駆動手段の制御に用いる位置情報を、第1計測手段の計測により得られた位置情報から第2計測手段の計測により得られた位置情報へ切り替える場合、第1領域に対するパターンの形成を終えた後且つ第2領域に対するパターンの形成の開始前の、駆動手段の制御に用いる位置情報の切り替えとは異なるタイミングで、制御パラメータの値を変更する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

移動体の第1方向の位置を計測しながら移動体を位置決めする位置決め装置を有し、前記移動体上に配置された基板の第1領域に対してパターンの形成を行い、前記第1領域に対するパターンの形成のあと前記位置決め装置が前記移動体を前記第1方向と交差する第2方向に移動させてから前記基板の第2領域に対してパターンの形成を行うパターニング装置であって、 前記位置決め装置は、 前記移動体の第1方向における位置を計測可能な第1計測手段及び第2計測手段と、 前記移動体を前記第1方向に駆動可能な駆動手段と、 前記第1計測手段または前記第2計測手段により計測された前記移動体の前記第1方向における位置を示す位置情報に基づいて、前記駆動手段を制御する制御手段と、を有し、 前記制御手段は、前記移動体の前記第1方向における位置指令情報と前記位置情報とに応じた制御偏差と、所定の値に設定された制御パラメータと、に基づいて前記駆動手段を制御し、 前記駆動手段の制御に用いる前記位置情報を、前記第1計測手段の計測により得られた位置情報から前記第2計測手段の計測により得られた位置情報へ切り替える場合、前記第1領域に対するパターンの形成を終えた後且つ前記第2領域に対するパターンの形成の開始前の、前記駆動手段の制御に用いる前記位置情報の切り替えとは異なるタイミングで、前記制御パラメータの値を変更することを特徴とするパターニング装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502D ,  G01B11/00 G ,  H01L21/68 F

Fターム (60件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065BB15 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF16 ,  2F065FF55 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065RR06 ,  2F065TT02 ,  2F065TT08 ,  2H197AA06 ,  2H197AA09 ,  2H197AA24 ,  2H197BA11 ,  2H197CA09 ,  2H197CB16 ,  2H197CC16 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD41 ,  2H197CD43 ,  2H197CD48 ,  2H197HA03 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131EA02 ,  5F131EA13 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB31 ,  5F131FA17 ,  5F131FA37 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KA63 ,  5F131KB32 ,  5F131KB56 ,  5F146AA31

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第6109049号
  
• 位置決め装置及びその制御方法、並びに露光装置、並びにその制御方法により制御される露光装置により半導体デバイスを製造する製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-056419   出願人：キヤノン株式会社
• 位置決め装置及びその制御方法、露光装置、デバイスの製造方法、半導体製造工場、露光装置の保守方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-185062   出願人：キヤノン株式会社