特許
J-GLOBAL ID：200903030116458090

位置決め装置及びその制御方法、露光装置、デバイスの製造方法、半導体製造工場、露光装置の保守方法

発明者：
黒澤 博史

黒澤 博史 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-185062
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031592
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】複数の位置計測器を切り替えて高精度な位置計測を行うこと。【解決手段】ウエハステージ7の位置情報を計測するX軸干渉計3及びX軸干渉計4と、前記ウエハステージ7の移動領域に応じて、位置計測器を前記X軸干渉計3から前記X軸干渉計4へ切り替える切替器と、前記X軸干渉計3による計測結果を第1補正パラメータセットを用いて、前記ウエハステージ7の現在位置として補正演算する補正演算器と、前記補正演算器による補正演算結果に基づいて、前記ウエハステージ7を目標位置に駆動するための信号を生成する位置制御部と、前記位置制御部により生成された前記信号を第2補正パラメータセットを用いて、前記X軸干渉計4への指令値として演算する逆補正演算器とを備えることによって、複数の位置計測装置を切り替えてウエハステージ7を高精度な位置計測を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定の目標位置まで制御対象を駆動する位置決め装置であって、 制御対象の位置情報を計測する第1位置計測器及び第2位置計測器と、 前記制御対象の移動領域に応じて、位置計測器を前記第1位置計測器から前記第2位置計測器へ切り替える切替器と、 前記第1位置計測器による計測結果を第1補正パラメータセットを用いて、前記制御対象の現在位置として補正演算する補正演算器と、 前記補正演算器による補正演算結果に基づいて、前記制御対象を目標位置に駆動するための信号を生成する位置制御部と、 前記位置制御部により生成された前記信号を第2補正パラメータセットを用いて、前記第2位置計測器への指令値として演算する逆補正演算器と、 を備えることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G03F7/22 ,  G03F9/00
FI (5件)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/22 H ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 516B ,  H01L21/30 502G
Fターム (17件)：
2F065AA03 ,  2F065CC00 ,  2F065FF55 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ11 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ51 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC16
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM