特許

J-GLOBAL ID：200903068528620662

位置決め装置及びその制御方法、並びに露光装置、並びにその制御方法により制御される露光装置により半導体デバイスを製造する製造方法

発明者： 黒澤 博史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-056419
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254739
出願日： 2002年03月01日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 ステージ駆動中に計測装置が切り替わることによって生じる誤差を抑えた位置決め装置及びその制御方法、並びに露光装置、並びにその制御方法により制御される露光装置により半導体デバイスを製造する製造方法を提供すること。【解決手段】 1方向におけるウエハステージ7の現在位置を同時に計測する機能を有するX軸干渉計3、4が現在位置を同時に計測しているとともに、ウエハステージ7の駆動中に、X軸干渉計3、4の一方の現在位置を他方の初期値に設定して、X軸干渉計3、4を切り替えることによって、ステージ駆動中に生じる誤差を抑えてX軸干渉計3、4を切り替えることができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも2次元方向に移動可能なステージを目標位置まで駆動する位置決め装置であって、1方向における前記ステージの位置を異なる位置から同時に計測する機能を有する複数の位置計測装置と、前記ステージの位置情報及び速度情報の少なくとも1つに応じて、前記ステージの位置を同時に計測する前記複数の位置計測装置のうちのいずれか1つに前記位置計測装置を切り替える切替装置と、前記切替装置が前記位置計測装置を切り替えるときに、切り替え前の第1の位置計測装置で計測した前記ステージの位置に基づいて、切り替え後の第2の位置計測装置の初期値を設定する設定装置とを備え、前記切替装置は、前記ステージの駆動中に前記位置計測装置を切り替えることを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G01B 21/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  G01B 11/00

FI (6件)：

G01B 21/00 D ,  G01B 21/00 E ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/68 K ,  G01B 11/00 G ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (42件)：

2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065CC00 ,  2F065FF32 ,  2F065FF33 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL14 ,  2F065NN20 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ51 ,  2F069AA03 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069BB40 ,  2F069EE20 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG13 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069MM34 ,  2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 位置決めステージ装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-237491   出願人：キヤノン株式会社
• 露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-367223   出願人：キヤノン株式会社
• 位置測定方法および位置測定装置並びに露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-137210   出願人：株式会社ニコン