特許
J-GLOBAL ID:201703001443579308
過熱水蒸気生成装置及び過熱水蒸気生成装置を用いた処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西村 竜平
, 齊藤 真大
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-148067
公開番号(公開出願番号):特開2017-078564
出願日: 2016年07月28日
公開日(公表日): 2017年04月27日
要約:
【課題】被処理物に生じる結露を防ぐ。【解決手段】水から水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の水蒸気生成部2と、水蒸気から過熱水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の過熱水蒸気生成部3と、水蒸気生成部2により生成された水蒸気を過熱水蒸気生成部3に供給する水蒸気供給流路L1と、他の気体を過熱水蒸気生成部3に供給する気体供給流路L2とを備え、過熱水蒸気生成部3に水蒸気が供給される第1状態、又は、過熱水蒸気生成部3に他の気体が供給される第2状態に切り替え可能に構成した。【選択図】図1
請求項(抜粋):
水から水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の水蒸気生成部と、
水蒸気から過熱水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の過熱水蒸気生成部と、
前記水蒸気生成部により生成された水蒸気を前記過熱水蒸気生成部に供給する水蒸気供給流路と、
前記水蒸気とは異なる他の気体を前記過熱水蒸気生成部に供給する気体供給流路とを備え、
前記過熱水蒸気生成部に前記水蒸気が供給される第1状態、又は、前記過熱水蒸気生成部に前記他の気体が供給されて前記過熱水蒸気生成部が気体加熱部として機能する第2状態に切り替え可能に構成された過熱水蒸気生成装置。
IPC (3件):
F22G 1/16
, H05B 6/10
, H05B 3/40
FI (3件):
F22G1/16
, H05B6/10 311
, H05B3/40 A
Fターム (19件):
3K059AA08
, 3K059AB23
, 3K059CD09
, 3K059CD10
, 3K092PP11
, 3K092QA02
, 3K092RD02
, 3L113AA01
, 3L113AB02
, 3L113AC05
, 3L113AC08
, 3L113AC13
, 3L113AC45
, 3L113AC46
, 3L113AC57
, 3L113AC67
, 3L113BA39
, 3L113CB28
, 3L113DA23
引用特許:
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