特許
J-GLOBAL ID:201703001847700259
異物除去装置及びこれを用いた太陽電池の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-516877
特許番号:特許第6091610号
出願日: 2013年10月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 太陽電池セル表面に付着する異物を除去するための異物除去装置であって、
太陽電池セルを平滑面で保持して搬送する搬送部と、
多数本の非金属製の毛状体からなり、前記搬送部上の前記太陽電池セルのテクスチャー表面に沿うように、テクスチャーサイズに合わせて押し当てられ接触して異物を除去するブラシと、
前記ブラシと接触し、前記ブラシに付着した異物を払い落とす払い板と、
を有することを特徴とする異物除去装置。
IPC (4件):
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B08B 1/04 ( 200 6.01)
, H01L 31/0224 ( 200 6.01)
, H01L 31/068 ( 201 2.01)
FI (5件):
H01L 21/304 644 E
, H01L 21/304 644 F
, B08B 1/04
, H01L 31/04 260
, H01L 31/06 300
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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