電子ビーム蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：溝上哲也 , 岩原義則 , 山本進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-159623
公開番号（公開出願番号）：特開2015-030862
特許番号：特許第6216177号
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】加速した電子を照射し加熱して蒸発させた材料を、発生する電子の基板への入射を遮蔽する磁場を形成しつつ、基板表面に付着させて薄膜を形成する電子ビーム蒸着装置であって、蒸着する基板の回転中心軸から所定距離移動させた下方に、蒸着材料の収容器を位置させ、基板を回転させつつ蒸着を行う際の回転軌道、または固定した基板を回転させた場合の回転軌跡に基づいて、前記収容器の中心より基板の回転中心方向の上方空間に、前記収容器の中心を挟んで所定の間隔を空けて一対の磁石の各々の基板回転中心側端部を他方端部より下方に傾斜させて配置することを特徴とする電子ビーム蒸着装置。

IPC (1件)：