特許

J-GLOBAL ID：201703002333524466

成膜方法および発光装置の作製方法

発明者： 山崎 舜平 ,  福永 健司
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-226685
公開番号（公開出願番号）：特開2017-045728
出願日： 2016年11月22日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：

【課題】膜厚分布の均一性の高い表示装置の作製方法を提供する。【解決手段】本発明に係る表示装置の作製方法は、基板101を蒸着室に搬送し、蒸着源104から薄膜材料を気化させ、前記薄膜材料を気化させている間、前記基板に対する前記蒸着源の位置を移動させることにより、前記基板上に薄膜を成膜することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の方向に沿って長手方向を有する第1の蒸着源を用い、 被成膜面に対する前記第1の蒸着源の位置を、前記第1の方向と垂直な第2の方向に移動させ、前記被成膜面に第1の有機材料を成膜する成膜方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24

FI (4件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 C

Fターム (19件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029DB23 ,  4K029HA04 ,  4K029JA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 電界放出素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-344480   出願人：双葉電子工業株式会社
• 特開平4-272170
  
• 有機発光素子、その製造装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-274326   出願人：三洋電機株式会社
• 特許第5856110号
  

審査官引用 (4件)

• 電界放出素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-344480   出願人：双葉電子工業株式会社
• 特開平4-272170
  
• 有機発光素子、その製造装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-274326   出願人：三洋電機株式会社
• 特許第5856110号