プレーナ型アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福田充広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-074515
公開番号（公開出願番号）：特開2014-200140
特許番号：特許第6148054号
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】デバイス基板に設置された枠状の固定部の内側に支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、前記デバイス基板の一面側に設置され前記可動部の所定箇所に磁界を付与する一対の磁界発生手段と、前記磁界発生手段の前記デバイス基板への設置とは別に、前記一対の磁界発生手段の間に生じる磁力の方向に対応して前記磁界発生手段を連結して保持する保持手段と、を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。

IPC (3件)：