特許
J-GLOBAL ID:200903038747626726
プレーナ型電磁アクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-104960
公開番号(公開出願番号):特開2005-295646
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】 半導体基板の強度を低下させることなく、永久磁石による静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータを提供する。【解決手段】 半導体基板に、枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板の周縁部に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを形成し、前記可動板の駆動コイルに静磁界を与える永久磁石を、前記枠部の前記トーションバーの軸方向に平行な位置に設けられた貫通孔内、凹部上、または切欠き部に配置する構成としたプレーナ型電磁アクチュエータとする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
半導体基板に、枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板の周縁部に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを形成し、該半導体基板をベース基板に搭載し、前記可動板の駆動コイルに静磁界を与える永久磁石とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記枠部の前記トーションバーの軸方向に平行な位置に貫通孔が設けられており、該貫通孔内に前記永久磁石を配置することを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
IPC (4件):
H02K33/00
, B81B3/00
, G02B26/10
, H01F7/14
FI (5件):
H02K33/00 B
, B81B3/00
, G02B26/10 F
, G02B26/10 104Z
, H01F7/14 A
Fターム (15件):
2H045AB16
, 2H045AB73
, 5E048AB10
, 5E048AC05
, 5E048AD12
, 5H633BB02
, 5H633GG03
, 5H633GG06
, 5H633GG08
, 5H633GG12
, 5H633HH02
, 5H633HH05
, 5H633HH09
, 5H633HH11
, 5H633HH13
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
揺動体
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-155639
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
プレーナー型ガルバノミラー
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-387963
出願人:ミヨタ株式会社
審査官引用 (5件)
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