特許
J-GLOBAL ID：201703002519579465
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮崎 昭夫
, 緒方 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-121538
公開番号（公開出願番号）：特開2014-237282
特許番号：特許第6137950号
出願日： 2013年06月10日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板上に前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、
(2)前記流路型パターンの上に、ネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(3)縮小投影露光装置、及び前記吐出口を形成するための吐出口マスク形状を有するマスクパターンを用いて、前記ネガ型感光性樹脂層を露光処理する工程と、
(4)前記露光処理後の前記ネガ型感光性樹脂層を現像処理し、前記吐出口を形成する工程と、
を有し、
前記縮小投影露光装置で生じる軸外テレセンの影響による吐出角度の傾きを、前記吐出口マスク形状によって基板面に垂直な方向に近づけるように補正して、前記吐出口を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/135 ( 200 6.01)
, B41J 2/14 ( 200 6.01)
, B41J 2/145 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
B41J 2/135
, B41J 2/14 201
, B41J 2/145
, B41J 2/16 401
, B41J 2/16 509
, B41J 2/16 515
