特許
J-GLOBAL ID:201703002861747230
感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-548541
特許番号:特許第6038951号
出願日: 2013年11月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】(A)下記(A1)および(A2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、
(A1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および(a4)下記一般式(S)で表される構成単位、を有する重合体、
(A2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および(a4)下記一般式(S)で表される構成単位を有する重合体、
(B)光酸発生剤、および
(C)溶剤
を含有し、
前記(A)重合体成分が、(a2)架橋性基を有する構成単位を含有する感光性樹脂組成物。
(式(S)中、R1およびR2はそれぞれ水素原子、炭素数1〜3の無置換のアルキル基または炭素数1〜3のパーフルオロアルキル基を表す。)
IPC (10件):
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/22 ( 200 6.01)
, H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, G02F 1/1333 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, C08F 220/26 ( 200 6.01)
, C08F 236/04 ( 200 6.01)
FI (11件):
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, H05B 33/14 A
, H05B 33/22 Z
, H05B 33/04
, H05B 33/10
, G02F 1/133 505
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, C08F 220/26
, C08F 236/04
引用特許: