特許
J-GLOBAL ID：201703002956134693
吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人かいせい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-024213
公開番号（公開出願番号）：特開2017-140676
出願日： 2016年02月11日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
要約：
【課題】吸着面に対する吸着対象物の位置合わせをしなくても吸着対象物を損傷させずに吸着対象物を吸着することができる吸着部を備えた吸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】半導体チップ20のうち吸着面15に吸着される被吸着面21の中心と、被吸着面21の外周のうち被吸着面21の中心から最も遠い点と、を結ぶ線分を半径と定義する。吸着部13は、吸着面15の中心を中心とする半径の円の円周に沿って吸着面15に設けられた溝部16と、吸着面15の中心を基準として溝部16の外側に同心円状に設けられていると共に、溝部16の底部18よりも高く形成された外周部17と、を有する。これにより、吸着部13の吸着面15の中心を通る中心軸を中心とした回転方向に対し、半導体チップ20の被吸着面21の外周のうち中心から最も遠い部分が吸着部13の溝部16に常に位置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
吸着面(15)を有する吸着部(13)を備え、前記吸着面に吸着対象物(20)を吸着するように構成された吸着装置であって、
前記吸着対象物のうち前記吸着面に吸着される被吸着面(21)の中心と、当該被吸着面の外周のうち前記被吸着面の中心から最も遠い点と、を結ぶ線分を半径と定義すると、
前記吸着部は、
前記吸着面の中心を中心とする前記半径の円の円周に沿って前記吸着面に設けられた溝部(16)と、
前記吸着面の中心を基準として前記溝部の外側に同心円状に設けられていると共に、前記溝部の底部(18)よりも高く形成された外周部(17)と、
を有している吸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C707EW03
, 3C707FS01
, 3C707FT10
, 3C707NS17
