特許
J-GLOBAL ID：201703003025669301
積層基板、圧電素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092055
公開番号（公開出願番号）：特開2014-216451
特許番号：特許第6191219号
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板の一方の側に形成された光学膜と、
前記基板の一方の側の反対側である他方の側に形成され、前記光学膜及び前記基板を介して照射される波長λの電磁波を吸収する電磁波吸収層と、を有し、
前記λに対する前記光学膜の屈折率は、空気の屈折率よりも大きく、前記λに対する前記基板の屈折率よりも小さく、
前記電磁波吸収層は、前記電磁波を吸収して、前記電磁波吸収層上に形成される被加熱膜を加熱し、前記被加熱膜の膜質を変える積層基板。
IPC (5件)：
H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/317 ( 201 3.01)
, H01L 41/331 ( 201 3.01)
, H01L 41/43 ( 201 3.01)
H01L 41/09
, H01L 41/047
, H01L 41/317
, H01L 41/331
, H01L 41/43
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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