耐熱黒鉛部材およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：森岡正往 , 特許業務法人SANSUI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-178206
公開番号（公開出願番号）：特開2015-044719
特許番号：特許第6205997号
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】黒鉛基材の表面に炭化物粒子を含むスラリーを塗布して塗膜を形成する塗布工程と、該塗膜を乾燥させて成形膜とする乾燥工程と、該成形膜の表面を研磨して該成形膜の表面粗さまたは表面うねりを該研磨前よりも小さくする研磨工程と、該研磨工程後の成形膜を加熱して該炭化物粒子の焼結した焼結膜を得る焼結工程と、を備えて該焼結膜により被覆された該黒鉛基材からなる耐熱黒鉛部材が得られ、前記炭化物粒子は炭化タンタル粒子であり、前記黒鉛基材は等方性黒鉛基材であり、前記焼結膜は膜厚が20〜300μmであることを特徴とする耐熱黒鉛部材の製造方法。

IPC (2件)：