特許
J-GLOBAL ID：200903016254008515

化学気相堆積炭化ケイ素物品

発明者：
マイケル・エイ・ピカリング

マイケル・エイ・ピカリング について

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ジェイミー・エル・トリバ

ジェイミー・エル・トリバ について

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ケビン・ディー・レイス

ケビン・ディー・レイス について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. について

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エイシージー・エレクトロニック・マテリアルズ

エイシージー・エレクトロニック・マテリアルズ について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-055287
公開番号（公開出願番号）：特開2008-260677
出願日： 2008年03月05日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】改善された化学気相堆積炭化ケイ素物品および該物品の部品を結合する方法が求められている。【解決手段】化学気相堆積炭化ケイ素物品および化学気相堆積炭化ケイ素物品を製造する方法が開示される。化学気相堆積炭化ケイ素物品は、焼結セラミック結合部116によって結合された複数の部品112、114で構成されている。結合部が強化され、物品の結合部における公差を維持する。物品は、半導体処理で使用され得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
焼結セラミックによって結合された少なくとも2つの化学気相堆積炭化ケイ素部品を含む物品。
IPC (3件)：
C04B 37/00 ,  C23C 16/42 ,  C04B 41/87
FI (3件)：
C04B37/00 A ,  C23C16/42 ,  C04B41/87 G
Fターム (21件)：
4G026BA14 ,  4G026BB14 ,  4G026BE04 ,  4G026BF07 ,  4G026BF31 ,  4G026BF44 ,  4G026BG05 ,  4G026BG10 ,  4G026BG26 ,  4G026BH13 ,  4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA37 ,  4K030CA05 ,  4K030CA11 ,  4K030DA09 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030LA21
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 米国特許第5683028号明細書
  • 特開平3-005381
  • シリコン含浸炭化珪素部材の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-246223   出願人：東芝セラミックス株式会社
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審査官引用 (9件)
  • 炭化ケイ素部品の結合方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115876   出願人：シーブイディー,インコーポレイティド
  • 縦型ウエハボート
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-059983   出願人：旭硝子株式会社
  • 縦型ウェーハ支持治具
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-141379   出願人：信越石英株式会社
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