特許
J-GLOBAL ID：201703003098304620

基板用作業装置

発明者：
野々山 知志

野々山 知志 について


出願人/特許権者：
富士機械製造株式会社

富士機械製造株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 脩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-110161
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239503
特許番号：特許第6153294号
出願日： 2012年05月14日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基台の上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品をそれぞれ有する複数の作業ユニットと、 複数の前記作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッドと、 前記基板に平行する上方の水平面内で前記作業ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、 前記作業ヘッドに保持された前記作業ユニットに対して、前記作業ヘッドから非接触方式で給電する非接触給電機構とを備え、 前記作業ヘッドは、複数の前記作業ユニットの一つを負圧により吸着保持する2つの負圧室を底面に有し、 前記非接触給電機構は、前記作業ヘッドの2つの前記負圧室の間に配設された非接触給電用素子と、前記作業ユニットに配設されて前記非接触給電用素子に対向配置される非接触受電用素子と、を含み、 供給された部品を吸着して前記基板に装着する装着ノズル、ならびに、前記装着ノズルの状況、前記部品の吸着状況、および前記装着ノズルと前記基板との離隔状況の少なくとも一つを撮像するノズルカメラまたは前記少なくとも一つを確認するノズルセンサを前記電装品として有する部品装着ユニットを複数の前記作業ユニットに含み、 前記非接触給電用素子は、前記装着ノズルに負圧および正圧を供給する2つのユニット連通路の間に配設され、 前記非接触受電用素子は、前記装着ノズルに前記負圧および前記正圧を供給する2つノズル連通路の間に配設された基板用作業装置。
IPC (2件)：
H05K 13/04 ( 200 6.01) ,  H05K 13/08 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H05K 13/04 Z ,  H05K 13/08 D ,  H05K 13/08 Z
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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