基板処理システム及び基板を移動する方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-530305
特許番号：特許第6096905号
出願日： 2012年09月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】搬送方向(T)に沿った基板移送のための、及び、前記搬送方向に沿って伸びる第1の搬送経路(T1)と第2の搬送経路(T2)との間の変更のための、移送デバイス(100)であって、前記第1の搬送経路は、前記第2の搬送経路に対して、前記搬送方向に直角の切り替え方向(S)に変位され、前記移送デバイスは: 基板又は基板キャリアをチャンバ内で支持するための第1のトラックを画定する、第1の基板支持アセンブリ(110); 基板又は基板キャリアを前記チャンバ内で支持するための第2のトラックを画定する、第2の基板支持アセンブリ(120)を備え、前記第1の基板支持アセンブリ及び前記第2の基板支持アセンブリは、互いに対して少なくとも前記切り替え方向に可動である、移送デバイス。

IPC (2件)：