特許
J-GLOBAL ID：201103061213235608

基板移送装置

発明者：
シン, ドン-ヒュク

シン, ドン-ヒュク について


出願人/特許権者：
株式会社インエーテク

株式会社インエーテク について


代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  江嶋 清仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-517350
公開番号（公開出願番号）：特表2011-527823
出願日： 2009年07月09日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
基板を支持させる回動支持台の構造を簡単にした基板の移送装置に関する。 該装置は、上部の第1位置に供給された基板を、下部の第2位置の高さに移送させ、第2位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、第1上部回動支持台及び第2上部回動支持台と、第1下部回動支持台及び第2下部回動支持台とが上下に離隔された状態で回動される構造を有する。 かような移送装置は、第1リフト及び第2リフトが、それぞれ第1位置と第2位置との間を交互に昇降しつつ、複数の基板を移送させるので、第1回動支持台及び第2回動支持台での基板待機時間を短縮させることによって、移送時間及び工程時間を短縮させることができる。 また、第1回転軸ないし第4回転軸及び第1ベルト部材ないし第4ベルト部材によって、第1上部支持台及び第2上部支持台と、第1下部支持台及び第2下部支持台とが回動することによって、回動構造を簡単にする。
請求項（抜粋）：
上部の第1位置に供給された基板を、下部の第2位置の高さに移送させ、第2位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、 前記移送レール300の対向する両側に、第1位置から第2位置に至る区間に設けられる第1昇降機構及び第2昇降機構と、 前記第1位置で、前記第1昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第1固定板51と、 前記第1固定板51の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第1回転軸41及び第2回転軸42と、 前記第1回転軸41及び第2回転軸42をそれぞれ回転駆動させる第1回転モータ31及び第2回転モータ32と、 一端が、前記各第1固定板51に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第1上部支持台131と、前記各第1上部支持台131の直下部に位置し、前記各第1固定板51に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第1下部支持台132と、を具備し、前記各第1上部支持台131の回転軸より、前記各第1下部支持台132の回転軸は、相対的に前記第1昇降機構に近接して設けられる第1回動支持台130と、 前記第1回転軸41と、前記各第1上部支持台131の回転軸とを連結させる複数の第1ベルト部材61と、 前記第2回転軸42と、前記各第1下部支持台132の回転軸とを連結させる複数の第2ベルト部材71と、 前記第1位置で、前記第2昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第2固定板52と、 前記第2固定板52の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第3回転軸43及び第4回転軸44と、 前記第3回転軸43及び第4回転軸44をそれぞれ回転駆動させる第3回転モータ及33び第4回転モータ34と、 一端が、前記各第2固定板52に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第2上部支持台231と、前記各第2上部支持台231の直下部に位置し、前記各第2固定板52に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第2下部支持台232と、を具備し、前記各第2上部支持台231の回転軸より、前記各第2下部支持台232の回転軸は、相対的に前記第2昇降機構に近接して設けられる第2回動支持台230と、 前記第3回転軸43と前記各第2上部支持台231の回転軸とを連結させる複数の第3ベルト部材62と、 前記第4回転軸44と前記各第2下部支持台232の回転軸とを連結させる複数の第4ベルト部材72と、 前記第1昇降機構及び第2昇降機構に支持されて上下に移動自在であり、前記第1昇降機構及び第2昇降機構に対して回動自在であり、長さが伸縮自在であり、前記第1回動支持台130及び第2回動支持台230の基板を搭載し、前記移送レール300に載置させるフォーク型第1リフト100及び第2リフト200と、を具備し、 前記移送レール300は、前記フォーク型第1リフト100及び第2リフト200が通過するように、一定間隔で設けられる複数の回転ロッド301を具備したことを特徴とする基板移送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z
Fターム (9件)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA49 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031MA23 ,  5F031MA29
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特許第839570号
  • 処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-048922   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-062905   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
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審査官引用 (2件)
  • 特許第839570号
  • 処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-048922   出願人：東京エレクトロン株式会社

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