特許
J-GLOBAL ID：201103076030751965

処理システム及び処理システムを運転する方法

発明者：
リンデンベルグ ラルフ

リンデンベルグ ラルフ について

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コパラル エルカン

コパラル エルカン について

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ベルガー トーマス

ベルガー トーマス について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-515255
公開番号（公開出願番号）：特表2011-525712
出願日： 2009年04月07日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
コーティングシステム1は、スイングモジュール及びチャンバ配列を含むスイングステーション2を含む。チャンバ配列は、ロックチャンバ3及び第1コーティングチャンバ4を含む。ロックチャンバ3は、結合されたロックイン/ロックアウトチャンバとして構成される。チャンバ配列は、破線で示される第1実質的直線搬送経路T1及び破線で示される第2実質的直線搬送経路T2を有する。経路T1、T2の配置は、デュアルトラックを確立する。システム1は、矢印で示されるように、チャンバ配列3、4を通って、第1搬送経路T1に沿って、及び/又は、第2搬送経路T2に沿って、基板を移動させるための搬送システムを含む。1又は特に両方のチャンバ3、4は、デュアル又はトリプルトラックセクションの横移動によって、第1経路T1から第2経路T2へ、及び/又は、第2経路T2から第1経路T1へ基板/キャリヤを移動させるための移動手段を含む。
請求項（抜粋）：
基板を処理するための処理システム(1)であって、 チャンバ配列を含み、 前記チャンバ配列は、少なくとも前記基板を処理するための第1プロセスチャンバ(4、30)、前記基板を処理するための第2プロセスチャンバ(7、40)、及び/又は、搬送チャンバ(6)と、 少なくとも前記チャンバ配列内に前記基板を閉じ込め、及び/又は、前記チャンバ配列外に基板を締め出すために構成されたロックチャンバ(3、20)と、 前記チャンバ配列を通って前記基板を移動するための第1搬送経路(T1)と、 前記チャンバ配列を通って前記基板を移動するための第2搬送経路(T2)とを含み、 前記第2搬送経路(T2)は前記第1搬送経路(T1)に対して横にオフセットされており、 前記第1プロセスチャンバ(4、30)、前記第2プロセスチャンバ(7、40)、及び搬送チャンバ(6)のうちの少なくとも1つは、前記第1搬送経路(T1)から前記第2搬送経路(T2)まで、及び/又は、前記第2搬送経路(T2)から前記第1搬送経路(T1)まで前記基板を移動するための手段を含み、 前記基板を移動するための前記手段は、少なくとも第1ガイダンスセクション及び第2ガイダンスセクションの組み合わせを含み、前記第1ガイダンスセクションは、前記第2ガイダンスセクションと平行に配置されることを特徴とする処理システム。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  C23C 14/56 ,  H01L 21/285
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  C23C14/56 G ,  H01L21/285 S
Fターム (23件)：
4K029AA24 ,  4K029KA01 ,  4K029KA02 ,  4K029KA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB16 ,  4M104DD39 ,  4M104FF13 ,  5F031CA04 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA41 ,  5F031GA53 ,  5F031HA01 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031MA03 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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