特許
J-GLOBAL ID：201703003451040577
基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法および基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
川口 嘉之
, 平川 明
, 関根 武彦
, 今堀 克彦
, 中村 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-028228
公開番号（公開出願番号）：特開2017-147339
出願日： 2016年02月17日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：
【課題】基板保持部の回転開始前後の画像における濃度変動を検知することにより、基板の保持状態の異常を検査する場合において、画像において特に着目する検査領域を自動で決定することで、作業負担の軽減を可能とする。【解決手段】基板保持部の画像において、基板保持部により適正に保持されたときの基板から上方に位置し、基板の保持状態の異常を検査するための検査領域を、(1)基板保持部に正常に保持された状態の基板の上端面を確定し、(2)確定された基板の上端面の位置に基づいて検査領域の上下方向の位置を決定し、(3)上下方向の位置が決定された検査領域の候補について、基板保持部の回転開始時における濃度を求め、基板保持部の初期状態における同一領域の濃度との間の差分絶対値の積分値である差分画像積分値を求め、求められた差分画像積分値に基づいて、検査領域の水平位置を決定する。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
基板を略水平姿勢に保持した状態で回転する基板保持部と、
前記基板保持部が回転した状態で前記基板に所定の処理を加える処理制御部と、
前記基板保持部による前記基板の保持状態の異常を検査する異常検査部と、
を備え、
前記異常検査部は、
前記基板保持部に保持される前記基板を水平方向から撮影して第1画像を取得する撮像手段と、
前記基板保持部により適正に保持されたときの前記基板から上方に位置する検査領域に対応する第2画像を前記第1画像から切り出す切り出し手段と、
前記第2画像について、前記基板保持部による前記基板の保持状態を示す特徴量を求め、該特徴量に基づいて前記保持状態の異常判定を行う判定手段と、
を有する、
基板処理装置における、基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法であって、
前記第1画像において、前記基板保持部に正常に保持された状態の前記基板の上端面を確定する上端面確定工程と、
前記上端面確定工程によって確定された前記第1画像における前記基板の上端面の位置に基づいて、前記検査領域の上下方向の位置を決定する垂直位置決定工程と、
前記上下方向の位置が決定された前記検査領域の候補について、前記基板保持部の回転開始時における濃度を求め、前記基板保持部の初期状態における同一領域の濃度との間の差分絶対値の積分値である差分画像積分値を求め、求められた差分画像積分値に基づいて、前記検査領域の水平位置を決定する水平位置決定工程と、
を有することを特徴とする、基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/027
, H01L 21/683
H01L21/68 F
, H01L21/30 564C
, H01L21/30 569C
, H01L21/68 N
5F131AA02
, 5F131BA37
, 5F131CA32
, 5F131CA42
, 5F131CA69
, 5F131EA06
, 5F131EA24
, 5F131EB32
, 5F131EB35
, 5F131EB37
, 5F131EB55
, 5F131EB57
, 5F131KA14
, 5F131KA45
, 5F131KA54
, 5F131KA61
, 5F131KB30
, 5F131KB43
, 5F131KB53
, 5F146JA10
, 5F146JA27
, 5F146LA05
, 5F146LA19
