特許
J-GLOBAL ID：201503011332397600
変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-027456
公開番号（公開出願番号）：特開2015-152475
出願日： 2014年02月17日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：
【課題】位置決め対象物を撮像して基準位置からの変位を検出する際、単一の撮像方向からの撮像で位置決め対象物の変位を検出することができ、また撮像手段の配置の自由度の高い変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法を提供する。【解決手段】カメラ72に対し接近・離間方向に移動するノズル53の変位を検出するために、カメラ72の撮像方向Diをノズル53の移動平面に交わるように斜め方向とする。撮像された画像IMでは、ノズル53の変位が上下方向の動きとなって反映され、パターンマッチング処理により画像内でノズル53の位置検出を行うことで、画像の奥行き方向の成分を有するノズル53の変位を検出する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
位置決め対象物の基準位置からの変位を検出する変位検出装置において、
前記位置決め対象物を撮像対象物として、または前記位置決め対象物の変位に伴い前記位置決め対象物と一体的に変位する物体を撮像対象物として、該撮像対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が前記撮像対象物を撮像した検出用画像に基づき、前記位置決め対象物の変位を検出する検出手段と
を備え、
前記撮像手段は、前記撮像対象物の変位方向に平行な成分と前記変位方向に非平行な成分とを含む方向を撮像方向として前記撮像対象物を撮像し、
前記検出手段は、前記基準位置からの前記位置決め対象物の変位のうち前記撮像方向と非平行な成分を、前記位置決め対象物が前記基準位置に位置する時に前記撮像手段が前記撮像対象物を撮像した基準画像と前記検出用画像とのパターンマッチング結果に基づき検出する
ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA03
, 2F065AA09
, 2F065AA12
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065CC18
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065FF67
, 2F065GG07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065PP13
, 2F065QQ05
, 2F065QQ33
, 2F065QQ38
, 2F065RR08
, 2F065SS03
, 2F065SS04
, 2F065SS09
, 2F065TT08
