特許
J-GLOBAL ID：201703003942490019

物理量センサー、電子機器、及び移動体

発明者：
成瀬 敦紀

成瀬 敦紀 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (5件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-012951
公開番号（公開出願番号）：特開2014-145609
特許番号：特許第6137451号
出願日： 2013年01月28日
公開日（公表日）： 2014年08月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1凹部が設けられた基板と、 前記第1凹部の底面上に設けられたシールド電極と、 前記シールド電極上に絶縁部を介して設けられた、第1の固定電極及び第2の固定電極と、 前記第1の固定電極及び前記第2の固定電極に対向して配置された可動電極を含み、前記シールド電極上に支持部で支持された可動部と、を備え、 前記第1の固定電極及び前記第2の固定電極は、電気的に分離して設けられ、 前記第1凹部は、平面視した場合に、前記可動部、前記第1の固定電極、及び前記第2の固定電極と重なる様に設けられ、 前記支持部は、第1軸に沿って設けられ、 前記第1軸を境にして、前記可動部の質量が両側で異なり、 前記第1軸と交差する方向の前記可動部の一方側の端部には、錘部が設けられ、 前記第1凹部の前記底面には、第2凹部が設けられ、 前記第2凹部は、平面視した場合に、前記錘部と重なる様に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
IPC (4件)：
G01P 15/125 ( 200 6.01) ,  G01P 15/08 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01P 15/125 Z ,  G01P 15/08 101 B ,  H01L 29/84 Z ,  B81B 3/00
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
  • 資金別貸借対照表
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-202658   出願人：佐藤幸利
  • 加速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-099878   出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
  • 静電容量型圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-075574   出願人：株式会社トーキン
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