特許

J-GLOBAL ID：201703004093130026

PZT前駆体溶液及びその製造方法、PZT膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法

発明者： 秋山 善一 ,  下福 光 ,  上田 恵司
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-010941
公開番号（公開出願番号）：特開2017-130624
出願日： 2016年01月22日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：

【課題】変位特性の面内分布を低減することが可能なPZT前駆体溶液を提供する。【解決手段】PZT前駆体溶液は、PZT膜をゾルゲル法で成膜する際に使用するPZT前駆体溶液であって、S201〜S203のステップで、結晶化してPZTとなる成分を溶媒に溶解し、続いて、S204ステップで、溶媒に溶解してPZTの結晶成長を阻害する元素をジルコニウムアルコキシド化合物材料から導入する。結晶成長を阻害する元素は、例えば、塩素、硫黄、又はハフニウムの1種類以上とすることができる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

PZT膜をゾルゲル法で成膜する際に使用するPZT前駆体溶液であって、 溶媒と、 前記溶媒に溶解した、結晶化してPZTとなる成分と、 前記溶媒に溶解した、PZTの結晶成長を阻害する元素と、を含むことを特徴とするPZT前駆体溶液。

IPC (7件)：

H01L 41/318 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/29 ,  H01L 41/09 ,  B41J 2/14 ,  B41J 2/16

FI (8件)：

H01L41/318 ,  H01L41/187 ,  H01L41/43 ,  H01L41/29 ,  H01L41/09 ,  B41J2/14 305 ,  B41J2/16 517 ,  B41J2/16 305

Fターム (4件)：

2C057AF23 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP57

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 圧電体前駆体ゾル、圧電体膜の製造方法、圧電体素子およびインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-275602   出願人：キヤノン株式会社, 富士化学株式会社
• 圧電体素子形成用組成物、圧電体膜の製造方法、圧電体素子及びインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-275751   出願人：キヤノン株式会社, 富士化学株式会社
• 酸化物薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-041753   出願人：国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学
• 電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-067545   出願人：株式会社リコー
• 電気-機械変換素子、電気-機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-110179   出願人：株式会社リコー