電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-067545
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201198
出願日： 2012年03月23日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：

【課題】耐電圧を向上可能な電気機械変換素子を提供すること。【解決手段】本電気機械変換素子は、電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子であって、アルミナ膜、金属膜、及び導電性酸化物膜が順次積層された下部電極と、前記下部電極の前記導電性酸化物膜上に配置された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に配置された上部電極と、を有し、前記金属膜は、空孔の存在しない膜である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子であって、アルミナ膜、金属膜、及び導電性酸化物膜が順次積層された下部電極と、前記下部電極の前記導電性酸化物膜上に配置された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に配置された上部電極と、を有し、前記金属膜は、空孔の存在しない膜であることを特徴とする電気機械変換素子。

IPC (3件)：

H01L 41/09 , B41J 2/055 , B41J 2/045

FI (2件)：

H01L41/08 L , B41J3/04 103A

Fターム (7件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057AP51 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (9件)

半導体基板上の積層構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-066393 出願人：国立大学法人豊橋技術科学大学
電気-機械変換素子とその製造方法、及び電気-機械変換素子を有する液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-242170 出願人：株式会社リコー
強誘電体層を有する層構造体、および層構造体の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-508367 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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