特許
J-GLOBAL ID：201703004169591141

ナノリアクタおよび電子顕微鏡と協働するホルダ組立体

発明者：
ドナ,プラウン

ドナ,プラウン について

, 
メレ,ルイージ

メレ,ルイージ について


出願人/特許権者：
エフ イー アイ カンパニ

エフ イー アイ カンパニ について


代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-197771
公開番号（公開出願番号）：特開2017-135096
出願日： 2016年10月06日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：
【課題】ナノリアクタおよび電子顕微鏡と協働するホルダ組立体。【解決手段】ホルダ組立体は遠位末端を有し、ナノリアクタは第1および第2のチップを有し、第1および第2のチップは、密閉容積を取り囲み、第1のチップは、密閉容積に流体が導入される流体入口と流体出口とを有し、遠位末端は、流体入口に接続される流体供給チャネルと、流体供給用の流体出口に接続される流体出口管とを有し、流体入口と流体供給チャネルの間の接続部は、流体供給シール素子および流体出口シール素子によりシールされ、遠位末端にナノリアクタが取り付けられると、遠位末端と第1のチップとの間にシールされた予備真空容積が形成され、該予備真空容積は、予備真空チャネルを介して真空にされ、流体供給シール素子および流体出口シール素子を介した流体のリークは、予備真空チャネルを介して排出される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ナノリアクタおよび電子顕微鏡と協働するホルダ組立体であって、 前記電子顕微鏡は、作動の際、前記ナノリアクタに電子ビームを照射し、 当該ホルダ組立体は、前記ナノリアクタを保持する遠位末端を有し、前記ナノリアクタは、第1の電子透過窓を有する第1の平坦層と、第2の電子透過窓を有する第2の平坦層とを有し、 前記第1の平坦層および前記第2の平坦層は、密閉容積を取り囲み、前記第1の電子透過窓は、前記第2の電子透過窓と整列され、 前記第1の平坦層は、前記密閉容積に流体が導入される流体入口を有し、 当該ホルダ組立体の前記遠位末端は、作動の際に、前記電子顕微鏡の真空部に配置され、 前記ナノリアクタは、作動の際に、前記遠位末端に取り付けられ、前記遠位末端は、前記電子ビームが通る中央孔を有し、該中央孔は、作動の際に、前記ナノリアクタの前記第1の電子透過窓および前記第2の電子透過窓と整列され、 前記遠位末端は、作動の際に、前記流体入口と接続される、流体供給チャネルを有し、該流体供給チャネルは、流体を供給し、 前記流体入口と前記流体供給チャネルの間の接続部は、作動の際、流体供給シール素子によりシールされ、 当該ホルダ組立体は、凹部を有し、当該ホルダ組立体に前記ナノリアクタが取り付けられると、前記遠位末端と前記第1の平坦層との間にシールされた予備真空容積が形成され、 前記予備真空容積は、前記凹部で終端する予備真空チャネルを介して真空にされ、 前記流体供給シール素子は、前記流体供給シール素子を介した前記流体のいかなるリークも、前記電子顕微鏡の真空部に導入されることなく、前記予備真空チャネルを介して排出されるように、真空にされた前記予備真空容積に晒される、ホルダ組立体。
IPC (1件)：
H01J 37/20
FI (1件)：
H01J37/20 A
Fターム (3件)：
5C001AA01 ,  5C001BB01 ,  5C001CC03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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