特許
J-GLOBAL ID：201703004551730003
研磨装置及び摩耗検知方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小野 新次郎
, 宮前 徹
, 山崎 幸作
, 鐘ヶ江 幸男
, 串田 幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-072399
公開番号（公開出願番号）：特開2014-195847
特許番号：特許第6113552号
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨パッドの偏摩耗を検知する検知システムを有するCMP装置であって、
テーブル駆動軸に接続され、前記研磨パッドが配置されている回転可能な研磨テーブルと、
基板を保持し、前記研磨パッドに前記基板を押圧するための回転可能な研磨ヘッドと、
前記研磨パッドの研磨面をドレッシングするドレッシング面を有し、ドレッサ駆動軸に接続され、前記ドレッサ駆動軸によって回転するドレッシングヘッドと、揺動アクチュエータに接続され、前記ドレッシングヘッドを前記研磨テーブル上の位置と前記研磨テーブルの外側の位置との間を揺動させるドレッサ揺動軸と、を有するドレッシング装置と、
前記研磨テーブルの回転数、前記テーブル駆動軸によって前記研磨テーブルに加えられる回転トルク、前記ドレッシングヘッドの回転数、前記ドレッサ駆動軸によって前記ドレッシングヘッドに加えられる回転トルク、及び前記揺動アクチュエータによって前記ドレッサ揺動軸に加えられる揺動トルクのうち、少なくとも一つを検知するセンサ装置と、検知されたデータを前記センサ装置から取得し、第1の所定時間における前記検知されたデータの変化量を計算し、前記計算された変化量が所定値を超えたか否かを判定する制御部と、を有する前記研磨パッドの偏摩耗を検知する検知システムと、を有することを特徴とするCMP装置。
IPC (4件)：
B24B 37/10 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 37/20 ( 201 2.01)
, B24B 49/18 ( 200 6.01)
B24B 37/10
, H01L 21/304 622 M
, B24B 37/20
, B24B 49/18
