特許
J-GLOBAL ID：201703004679400626
アーク蒸発源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上代 哲司
, 神野 直美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-514703
特許番号：特許第6074573号
出願日： 2013年04月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空中で、アーク放電によってカソード材料を溶解、蒸発させて、基材表面に成膜させるアーク蒸発源であって、
略円板形状に形成されたカソードと、前記カソードの背面側に配置された磁界発生手段とを備え、
前記磁界発生手段が、前記カソードの中心側から前記カソードの最外周部側に向かって前記カソードの放電面に近づくように前記カソードの放電面に対して20°〜50°の方向に磁極が傾斜して配置された少なくとも一つの永久磁石により、
前記カソードの外周面においては前記基材方向に対して前記カソードの外側方向に鋭角に傾斜した磁力線、前記カソードの放電面の最外周部においては放電面に対してほぼ垂直な磁力線、前記カソードの放電面の外周面寄りの部分においてはカソードの中心方向に対して前記カソードの外側方向に鋭角に傾斜した磁力線が形成される磁界を発生させるように構成されている
ことを特徴とするアーク蒸発源。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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