特許
J-GLOBAL ID：201703004965468955

切削方法

発明者：
伊藤 祝子

伊藤 祝子 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  岡本 知広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-139407
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015267
特許番号：特許第6099507号
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持する回転可能な保持手段と、該保持手段で保持された被加工物に設定された切削予定ラインを切削する切り刃を有した切削ブレードと、該切削ブレードが装着されるスピンドルと、を備えた切削装置で被加工物を該切削予定ラインに沿って切削する切削方法であって、 該スピンドルの軸心と平行な方向をY方向、該Y方向と直交する方向をX方向、該Y方向と該X方向とにそれぞれ直交する鉛直方向をZ方向とし、 該X方向に平行な第一の光を該Y方向に移動させつつ該切削ブレードの刃先に向かって投光し、該刃先で反射した該第一の光の第一反射光をもとに該切削ブレードの該刃先の該Y方向位置を検出するY方向位置検出ステップと、 該Y方向に平行な第二の光を該Z方向に移動させつつ該切削ブレードの該刃先に向かって投光し、該刃先で反射した該第二の光の第二反射光をもとに該切削ブレードの該刃先の該Z方向位置を検出するZ方向位置検出ステップと、 被加工物を保持手段で保持し、被加工物の該切削予定ラインを該X方向と平行にする保持ステップと、 該Y方向位置検出ステップで検出された該切削ブレードの該刃先の該Y方向位置に基づいて該切削ブレードを被加工物の該切削予定ラインに位置付けるとともに、該Z方向位置検出ステップで検出された該切削ブレードの該刃先の該Z方向位置に基づいて該切削ブレードを所定のZ方向位置に位置付ける切削ブレード位置付けステップと、 該切削ブレード位置付けステップを実施した後、回転する該切削ブレードと被加工物とを該X方向に相対移動させて該切削ブレードで被加工物を該切削予定ラインに沿って切削する切削ステップと、を備えたことを特徴とする切削方法。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B28D 5/02 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/78 F ,  B28D 5/02 A
引用特許：
出願人引用 (5件)
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