特許
J-GLOBAL ID：200903086160128337
切削装置およびブレード状態検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-107603
公開番号（公開出願番号）：特開2006-287111
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 1つのブレード検出手段によって切削ブレードの破損検出と磨耗検出の双方を正確に行うことを可能として,切削装置内の使用スペースの縮小化および低コスト化のみならず,高スループット化による生産性の向上を図ることが可能な切削装置およびブレード状態検出方法を提供する。【解決手段】 本実施形態に係る切削装置10は,ブレードと22,ブレード22の状態を検知するブレード検知センサ30と,ブレード検知センサ30をブレード22の外周部に対して接近または離隔させる移動手段70と,ブレード検知センサ30の検知結果に基づいてブレード22の破損および磨耗を検出するブレード状態検出部40とを備える。ブレード状態検出部40は,破損検出を行う破損検出部50と,磨耗検出を行う磨耗検出部60と,ブレード検知センサ30の位置に応じて破損検出部50と磨耗検出部60とを切り換える切換部44とを有する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
被切削物を切削する切削ブレードと,前記切削ブレードの状態を光学的に検知するブレード検知センサと,前記ブレード検知センサを前記切削ブレードの外周部に対して接近または離隔させる移動手段と,前記ブレード検知センサの検知結果に基づいて前記切削ブレードの破損および磨耗を検出するブレード状態検出部と,を備える切削装置であって:
前記ブレード検知センサは,前記移動手段により,前記切削ブレードの破損検出位置と前記切削ブレードの磨耗検出位置とに選択的に位置することが可能であり,
前記ブレード状態検出部は,前記ブレード検知センサの検知結果に基づいて前記切削ブレードの破損検出を行う破損検出部と,前記ブレード検知センサの検知結果に基づいて前記切削ブレードの磨耗検出を行う磨耗検出部と,前記ブレード検知センサの位置に応じて前記破損検出部と前記磨耗検出部とを切り換える切換部と,を有し,
前記ブレード検知センサが前記破損検出位置にある場合には,前記切換部を前記破損検出部に接続するように切り換え,前記破損検出部を動作させて前記切削ブレードの破損を検出し,前記ブレード検知センサが前記磨耗検出位置にある場合には,前記切換部を前記磨耗検出部に接続するように切り換え,前記磨耗検出部を動作させて前記切削ブレードの磨耗を検出することを特徴とする,切削装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B24B 27/06
, B24B 49/12
H01L21/78 F
, B24B27/06 M
, B24B49/12
3C034AA19
, 3C034BB93
, 3C034CA06
, 3C034DD18
, 3C058AA03
, 3C058AC03
, 3C058CB06
, 3C058DA17
出願人引用 (2件)
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実開平7-7854号公報
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ブレード監視装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-176890
出願人：株式会社ディスコ
審査官引用 (3件)
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