特許
J-GLOBAL ID:201203029247647243

切削ブレード検出機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-262374
公開番号(公開出願番号):特開2012-111003
出願日: 2010年11月25日
公開日(公表日): 2012年06月14日
要約:
【課題】加工時間を増加することなく切削加工中にセットアップを実施できるとともに、切削ブレードの磨耗量を検出できる切削装置の切削ブレード検出機構を提供する。【解決手段】切削ブレードの半径方向に整列した複数の受光部74を有する受光手段と、第1のタイミングで発光部70からの発光を受光した受光部74の数を第1受光部数として記憶する第1記憶部88と、第1記憶部88で受光部74の数を記憶した後に切削ブレードで所定時間被加工物を切削した後、第2のタイミングで発光部70からの発光を受光した受光部74の数を第2受光部数として記憶する第2記憶部90と、第2記憶部90で記憶した第2記憶部数から第1記憶部88で記憶した第1記憶部数を減じた値に基づいて第1のタイミングから第2のタイミングまでの切削ブレードの磨耗量を算出する算出部92等を有する制御手段84と、を具備した。【選択図】図7
請求項(抜粋):
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが装着されるスピンドルとを含む切削手段と、を備えた切削装置で使用される切削ブレード検出機構であって、 該切削ブレードに対向するように該スピンドルの軸方向に対して該切削ブレードの一方の側に配設されて該切削ブレードの外周縁に向かって発光する発光部を有する発光手段と、 該切削ブレードの外周縁を挟んで該発光部に対峙するように該スピンドルの軸方向に対して該切削ブレードの他方の側に配設されるとともに、該切削ブレードの半径方向に整列した複数の受光部を有する受光手段と、 第1のタイミングで該発光部からの発光を受光した該受光部の数を第1受光部数として記憶する第1記憶部と、該第1記憶部で該受光部の数を記憶した後に該切削ブレードで所定時間被加工物を切削した後、第2のタイミングで該発光部からの発光を受光した該受光部の数を第2受光部数として記憶する第2記憶部と、該第2記憶部で記憶した該第2記憶部数から該第1記憶部で記憶した該第1記憶部数を減じた値に基づいて該第1のタイミングから該第2のタイミングまでの該切削ブレードの磨耗量を算出する算出部と、を有する制御手段と、 を具備したことを特徴とする切削ブレード検出機構。
IPC (2件):
B24B 49/12 ,  H01L 21/301
FI (2件):
B24B49/12 ,  H01L21/78 F
Fターム (8件):
3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB93 ,  3C034CA08 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20
引用特許:
審査官引用 (5件)
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