特許
J-GLOBAL ID：201703005014980954
ヒータ付き静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019256
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157570
特許番号：特許第6085090号
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス焼結体からなり、半導体ウエハが載置される載置面を有する基体と、第1外部電源に対して接続される第1接続端子を除いて前記基体に埋設されている静電チャック電極と、第2外部電源に対して接続される第2接続端子を除いて前記基体に埋設されている発熱抵抗体とを備えているヒータ付き静電チャックであって、
前記静電チャック電極が埋設された状態で一体焼成されることにより構成され、前記載置面を有する第1基体部分と、前記発熱抵抗体が埋設された状態で一体焼成されることにより構成されている第2基体部分とが間隙なく一体化されることにより前記基体が構成され、前記第1基体部分における主成分と比較して耐食性が異なる副成分の含有量が、前記第2基体部分における主成分と比較して耐食性が異なる副成分の含有量よりも少なく、
前記第2基体部分の側面から前記発熱抵抗体までの最短距離が、前記第1基体部分の側面から前記静電チャック電極までの最短距離よりも長く、
前記第2基体部分の前記第1基体部分との境界面から前記発熱抵抗体までの最短距離、及び当該境界面とは反対側の端面から前記発熱抵抗体までの最短距離のうち少なくとも一方が、前記第1基体部分の側面から前記静電チャック電極までの最短距離よりも長く、
前記第1基体部分の存在範囲が前記発熱抵抗体の存在範囲に包含され、かつ、
前記第2基体部分が前記第1基体部分よりも大径であることを特徴とするヒータ付き静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, C04B 35/581 ( 200 6.01)
, B23Q 3/15 ( 200 6.01)
, H02N 13/00 ( 200 6.01)
H01L 21/68 R
, C04B 35/581
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
