窒化アルミニウム質焼結体、耐蝕性部材、金属埋設品および半導体保持装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：杉村興作 , 高見和明 , 徳永博 , 岩佐義幸 , 藤谷史朗 , 来間清志 , 冨田和幸 , 阿相順一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-256464
公開番号（公開出願番号）：特開2006-045059
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】窒化アルミニウム質焼結体の耐蝕性、特にハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性を、一層向上させる。【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有している。本焼結体は、好ましくは、マグネシウムを酸化物換算で0.1重量%以上、20重量%以下含有しており、700°Cにおける体積抵抗率が1×107Ω・cm以上であり、熱伝導率が80W/m・K以下であり、マグネシウムの少なくとも一部が窒化アルミニウム結晶に固溶しており、X線線回折により、実質的に構成相が窒化アルミニウム単相と見なされており、マグネシウムを除く金属不純物量が600ppm以下である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有していることを特徴とする、窒化アルミニウム質焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 , H01L 21/683

FI (2件)：

C04B35/58 104F , H01L21/68 R

Fターム (15件)：

4G001BA06 , 4G001BA36 , 4G001BB06 , 4G001BB36 , 4G001BC23 , 4G001BC42 , 4G001BC62 , 4G001BD37 , 4G001BD38 , 5F031HA02 , 5F031HA16 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

耐蝕性部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-058727 出願人：日本碍子株式会社
処理装置及びアルミ系部材のコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-085573 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (11件)

窒化アルミニウム焼結体、金属埋設品、電子機能材料および静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-072799 出願人：日本碍子株式会社
特開昭61-183173
窒化アルミニウム焼結体、その製造方法及び用途
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-017640 出願人：電気化学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る