特許
J-GLOBAL ID：201703005106626111

陰極アーク堆積

発明者：
ベールマルク ヨハン

ベールマルク ヨハン について

, 
カーティンス ヘルマン

カーティンス ヘルマン について

, 
ジェンヴァード アクセル

ジェンヴァード アクセル について


出願人/特許権者：
ラミナ テクノロジーズ ソシエテ アノニム

ラミナ テクノロジーズ ソシエテ アノニム について


代理人 (1件)： 阿部 正博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-517694
特許番号：特許第6129830号
出願日： 2012年06月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 反応ガスとして窒素を含む真空室内で陰極アーク堆積のためのアノード-カソード構成を形成する板状ターゲットおよびアノード構成を提供するステップであって、該板状ターゲットは主元素としてTiおよびAlを含む前記ステップと、 前記真空室内に1以上の切削工具基材を提供するステップと、 アーク放電のイオンが前記板状ターゲットから放出されて前記1以上の切削工具基材上で被膜を形成するように、前記板状ターゲットと前記アノード構成との間に少なくとも200Aのアーク電流を印加することにより前記板状ターゲットの表面での1以上のアークスポットとして視認可能な前記アーク放電からプラズマを生成するステップ、を含み、 前記ターゲット表面から15cmの距離において前記ターゲットを臨むプローブ面を使用して測定される前記ターゲット表面の法線方向に沿った平均イオン電流密度に前記板状ターゲットの総表面積を乗算すると、少なくとも5Aである、大電流陰極アーク堆積工程を使用して切削工具基材の(Ti,Al)N被膜を堆積させる方法であって、 前記アノード構成の電位VAに対して負である前記切削工具基材へのバイアス電圧VSと、前記アノード構成の前記電位VAに対して負であるカソード電圧VCと、を印加するステップをさらに含み、 VS-VA>-30V、 -20V<VC-VA<0V、および -10V≦VS-VC≦10Vである、 ことを特徴とする、前記方法。
IPC (3件)：
C23C 14/32 ( 200 6.01) ,  C23C 14/06 ( 200 6.01) ,  B23B 27/14 ( 200 6.01)
FI (3件)：
C23C 14/32 ,  C23C 14/06 A ,  B23B 27/14 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM