特許
J-GLOBAL ID：201703005472659596

表面形状測定方法及び表面形状測定装置

発明者：
木村 浩章

木村 浩章 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-043671
公開番号（公開出願番号）：特開2017-161252
出願日： 2016年03月07日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：
【課題】直径値が既知の基準測定物を用いることなく、簡単な測定作業で、測定物の表面形状を精度よく求めることが可能となる表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供する。【解決手段】測定物の中心と回転中心とを一致させた状態で測定が行われたときの第1形状データを取得する工程と、測定物の中心を回転中心から予め設定された距離だけずらした状態で測定が行われたときの第2形状データを取得する工程と、第2形状データによる形状と第1形状データによる形状との差分形状を示す差分形状データを算出する工程と、回転中心を通り検出器の変位方向に平行な直線を測定母線とし、測定子が測定物に当接する位置を検出点としたとき、差分形状データに基づき、測定母線と検出点との距離を示す心ずれ量を検出する工程とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
測定物又は検出器を回転中心の周りに相対的に回転させ、前記測定物の表面に接触する測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記測定物の表面形状を測定する表面形状測定方法であって、 前記測定物の中心と前記回転中心とを一致させた状態で前記測定が行われたときの前記測定物の表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得工程と、 前記測定物の中心を前記回転中心から予め設定された距離だけずらした状態で前記測定が行われたときの前記測定物の表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得工程と、 前記第2形状データによる形状と前記第1形状データによる形状との差分形状を示す差分形状データを算出する差分形状データ算出工程と、 前記回転中心を通り前記検出器の変位方向に平行な直線を測定母線とし、前記測定子が前記測定物に当接する位置を検出点としたとき、前記差分形状データに基づき、前記測定母線と前記検出点との距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出工程と、 を備える表面形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 5/20 ,  G01B 5/08
FI (2件)：
G01B5/20 C ,  G01B5/08
Fターム (25件)：
2F062AA11 ,  2F062AA32 ,  2F062AA57 ,  2F062AA61 ,  2F062BB07 ,  2F062CC03 ,  2F062CC10 ,  2F062CC22 ,  2F062CC26 ,  2F062CC27 ,  2F062DD03 ,  2F062DD17 ,  2F062DD35 ,  2F062EE01 ,  2F062EE07 ,  2F062EE41 ,  2F062EE47 ,  2F062EE62 ,  2F062FF03 ,  2F062FF17 ,  2F062GG38 ,  2F062HH05 ,  2F062JJ04 ,  2F062JJ09 ,  2F062MM03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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