特許
J-GLOBAL ID：201203048706620048

真円度測定装置及び先端子良否判定方法

発明者：
榎本 雅人

榎本 雅人 について

, 
沢藤 進

沢藤 進 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (4件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  伊坪 公一 ,  南山 知広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001399
公開番号（公開出願番号）：特開2012-108143
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2012年06月07日
要約：
【課題】先端子の形状変化を簡易に測定可能にする真円度測定装置の判定方法を提供する。【解決手段】被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、形状が既知の基準被測定物を基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して(101)、基準被測定物の無偏心外形形状を測定し(102)、基準被測定物の円形の断面の中心を載物台の回転中心に対して所定量偏心させて(103)、基準被測定物の偏心外形形状を測定し(104)、無偏心外形形状と偏心外形形状との差から、先端子の球状からの変形量を算出し(105)、算出した変形量が所定の範囲を超えた時に(106)、不良と判定する(108)真円度測定装置の先端子良否判定方法。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
真円度測定装置で、被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、 形状が既知の基準被測定物を前記基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して前記基準被測定物の無偏心外形形状を測定し、 前記基準被測定物の円形の断面の中心を前記載物台の回転中心に対して所定量偏心させて前記基準被測定物の偏心外形形状を測定し、 前記無偏心外形形状と前記偏心外形形状との差から、前記先端子の球状からの変形量を算出し、 算出した前記変形量が所定の範囲を超えた時に不良と判定することを特徴とする真円度測定装置の先端子良否判定方法。
IPC (1件)：
G01B 5/20
FI (2件)：
G01B5/20 R ,  G01B5/20 C
Fターム (14件)：
2F062AA01 ,  2F062AA51 ,  2F062AA57 ,  2F062DD23 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF02 ,  2F062FF12 ,  2F062FF17 ,  2F062HH13 ,  2F062JJ04 ,  2F062LL18 ,  2F062MM01 ,  2F062NN01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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