特許
J-GLOBAL ID:201703005606268998
アバランシェフォトダイオード
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (4件):
平田 忠雄
, 岩永 勇二
, 遠藤 和光
, 伊藤 浩行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-113456
公開番号(公開出願番号):特開2017-220550
出願日: 2016年06月07日
公開日(公表日): 2017年12月14日
要約:
【課題】Ga2O3単結晶を用いたアバランシェフォトダイオードを提供する。【解決手段】n型のGa2O3系単結晶層10と、Ga2O3系単結晶層10に積層された誘電体層11と、誘電体層11に接続されたアノード電極12と、Ga2O3系単結晶層10に接続されたカソード電極13と、を有し、アノード電極12とカソード電極13の間に逆方向電圧を印加することにより、Ga2O3系単結晶層10と誘電体層11との接合部にアバランシェブレークダウンを生じさせることができる、アバランシェフォトダイオードを提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
n型のGa2O3系単結晶層と、
前記Ga2O3系単結晶層に積層された誘電体層と、
前記誘電体層に接続されたアノード電極と、
前記Ga2O3系単結晶層に接続されたカソード電極と、
を有し、
前記アノード電極と前記カソード電極の間に逆方向電圧を印加することにより、前記Ga2O3系単結晶層と前記誘電体層との接合部にアバランシェブレークダウンを生じさせることができる、
アバランシェフォトダイオード。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (7件):
5F849AA07
, 5F849AB01
, 5F849BA03
, 5F849BA05
, 5F849FA05
, 5F849GA03
, 5F849XB38
引用特許: