特許
J-GLOBAL ID：201703005778732157

セラミックヒータ及び静電チャック

発明者：
三輪 要

三輪 要 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-202989
公開番号（公開出願番号）：特開2017-076691
出願日： 2015年10月14日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
要約：
【課題】平面方向において部分的に温度調節が可能なセラミックヒータ及び静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャック1のセラミックヒータ5では、抵抗発熱体である発熱体11(部分発熱体51〜57)は、主端子部27間を繋ぐ電気経路の間に接続された中間の副端子部29によって複数の部分抵抗に区分されており、更に、主端子部27と副端子部29とからなる端子部21のうち少なくとも一対の端子部21間に、部分抵抗と電気的に並列に補助抵抗65が接続されている。従って、例えば各部分抵抗の抵抗値が異なる場合でも、部分抵抗と並列に配置された補助抵抗65の抵抗値を調節することにより(適切な抵抗値の補助抵抗65を用いることにより)、各部分抵抗における発熱量を均一化できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1主面及び第2主面を有するセラミック基板と、 前記セラミック基板に埋設され、前記第1主面上に配置された被加工物を加熱する発熱体と、 を備えたセラミックヒータにおいて、 前記発熱体は、当該発熱体と電気的に接続される一対の主端子部間に通電されることによって発熱する抵抗発熱体であって、 前記発熱体は、前記一対の主端子部間を繋ぐ電気経路の間に接続された1又は複数の副端子部によって抵抗値をそれぞれ有する複数の部分抵抗に区分されており、 更に、前記一対の主端子部と1又は複数の前記副端子部とからなる端子部のうち少なくとも一対の前記端子部間に、前記部分抵抗と電気的に並列に補助抵抗が接続されていることを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (7件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/306 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/02 ,  G03F 7/20
FI (7件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/68 R ,  H01L21/302 101G ,  H05B3/10 A ,  H05B3/18 ,  H05B3/02 B ,  G03F7/20 521
Fターム (28件)：
2H197CD02 ,  2H197CD05 ,  2H197DB18 ,  2H197GA01 ,  2H197GA17 ,  2H197GA21 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB03 ,  3K092QB45 ,  3K092QC42 ,  3K092VV23 ,  5F004AA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131EA03 ,  5F131EB14 ,  5F131EB17 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131EB84
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • プラズマ処理装置および試料台
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-018017   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
  • ヒーター
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-004069   出願人：日本碍子株式会社
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-164286   出願人：日本特殊陶業株式会社

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