特許
J-GLOBAL ID：201503089752814221

静電チャック

発明者：
三輪 要

三輪 要 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-164286
公開番号（公開出願番号）：特開2015-035448
出願日： 2013年08月07日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
要約：
【課題】被吸着物の均熱化を図りながら、被吸着物の温度制御を容易かつ効率的に行うことができる静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャック1は、金属ベース部3と、金属ベース部3上に配置され、静電引力によって被吸着物を吸着する吸着用電極21を有し、かつ、金属ベース部3よりも熱伝導率が低いセラミック吸着部2とを備えている。金属ベース部3には、冷媒を流通させる冷媒流路311を有する冷却部31と、金属ベース部3とセラミック吸着部2との積層方向Xにおいて冷却部31よりもセラミック吸着部2側に配置された第1ヒータ部33とが設けられている。セラミック吸着部2には、セラミック吸着部2に形成された複数の領域の温度をそれぞれ調整可能に構成された第2ヒータ部22が設けられている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
金属ベース部と、 該金属ベース部上に配置され、静電引力によって被吸着物を吸着する吸着用電極を有し、かつ、前記金属ベース部よりも熱伝導率が低いセラミック吸着部とを備え、 前記金属ベース部には、冷媒を流通させる冷媒流路を有する冷却部と、前記金属ベース部と前記セラミック吸着部との積層方向において前記冷却部よりも前記セラミック吸着部側に配置された第1ヒータ部とが設けられており、 前記セラミック吸着部には、該セラミック吸着部に形成された複数の領域の温度をそれぞれ調整可能に構成された第2ヒータ部が設けられていることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  B23Q3/15 D ,  H02N13/00 D
Fターム (13件)：
3C016GA10 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131CA06 ,  5F131CA68 ,  5F131EA03 ,  5F131EB13 ,  5F131EB28 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82
引用特許：
審査官引用 (4件)
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