特許
J-GLOBAL ID:201703005880309900
形状測定装置および形状測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 櫻井 智
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-204216
公開番号(公開出願番号):特開2017-075880
出願日: 2015年10月16日
公開日(公表日): 2017年04月20日
要約:
【課題】本発明は、各測定範囲の各測定結果を互いに繋ぎ合わせて測定対象の3次元形状を測定する場合でも、より高精度に測定できる形状測定装置および該方法を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置Dは、所定の測定範囲における画像を生成し、この生成した画像に基づいて測定対象における前記測定範囲での3次元形状を測定する、剛体支持部材で支持された複数の測定部1と、複数の測定部1の各測定結果をそれぞれ補正する補正部32とを備え、補正部32は、複数の測定点それぞれについて、当該測定点での位置ズレ量および傾斜角に基づく補正値で当該測定点での測定結果を補正し、前記位置ズレ量は、当該測定点が、所定の第1方向に沿って延びる基準線から、前記第1方向に直交する第2方向に沿ってずれたズレ量であり、前記傾斜角は、当該測定点における前記測定対象の表面の接平面と、前記第1および第2方向で形成される基準平面とのなす角である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
所定の測定範囲における画像を生成し、前記生成した画像に基づいて測定対象における前記所定の測定範囲での3次元形状を測定する複数の測定部と、
剛体で形成され、前記複数の測定部それぞれにおける各測定範囲の少なくとも一部が互いに重複しないように前記複数の測定部を支持する剛体支持部材と、
前記複数の測定部それぞれで測定された各測定結果をそれぞれ補正する補正部とを備え、
前記補正部は、複数の測定点それぞれについて、当該測定点での位置ズレ量および傾斜角に基づく補正値で当該測定点での測定結果を補正し、
前記位置ズレ量は、当該測定点が、所定の第1方向に沿って延びる基準線から、前記所定の第1方向に直交する第2方向に沿ってずれたズレ量であり、
前記傾斜角は、当該測定点における前記測定対象の表面の接平面と、前記第1および第2方向で形成される基準平面とのなす角であること
を特徴とする形状測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (13件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB07
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065QQ00
, 2F065QQ18
, 2F065QQ32
引用特許:
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