特許
J-GLOBAL ID：201703006073124189
インプリント装置、および物品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-038127
公開番号（公開出願番号）：特開2017-157639
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】 本発明は、押印時や離型時にステージが傾くことにより生じる基板とモールドの相対的な傾きを低減するために有利なインプリント装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、基板上に供給されたインプリント材に、モールドを用いてパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板を保持する基板保持部と、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記モールドと前記インプリント材とを接触させたときに前記基板保持部が傾くことにより生じる前記モールドと前記基板の相対的な傾きを低減するように、前記モールドと前記インプリント材が接触する前記基板の面方向の位置に基づいて、前記モールドが前記インプリント材に接触している間に前記モールドの傾きを変化させる前記モールド保持部を制御する制御部と、を含むことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に供給されたインプリント材に、モールドを用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記モールドを保持するモールド保持部と、
前記モールドと前記インプリント材とを接触させたときに前記基板保持部が傾くことにより生じる前記モールドと前記基板の相対的な傾きを低減するように、前記モールドと前記インプリント材が接触する前記基板の面方向の位置に基づいて、前記モールドが前記インプリント材に接触している間に前記モールドの傾きを変化させる前記モールド保持部を制御する制御部と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/04 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ06
, 4F209AP06
, 4F209AR07
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F146AA31
