特許
J-GLOBAL ID：201703006166323980
トレー交換式バーンイン試験ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 秀治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-161566
特許番号：特許第6178969号
出願日： 2016年08月19日
要約：
【課題】半導体デバイスの品種交換時であっても、エアー配管の取付け・取外し作業が発生しない手段を提供する。
【解決手段】テストトレー300を交換可能に搭載したバーンインボードユニット200と、該バーンインボードユニット200を搭載するボードラック110とを備え、前記ボードラック110は、減圧用試験空間を構成する押圧板120と、該押圧板120を上下に駆動する複数のエアーシリンダー130とを備え、前記バーンインボードユニット200は、バーンインボードと、コンタクト基板と、減圧用試験空間を構成する真空チャンバー枠と、前記テストトレー300を搭載するトレー搭載ステージとを備え、前記テストトレー300は、半導体デバイスを収容するソケットと、トレーフレームとを備えている。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 テストトレーを交換可能に搭載したバーンインボードユニットと、
該バーンインボードユニットを搭載するボードラックとを備えたトレー交換式バーンイン試験ユニットであり、
前記ボードラックは、
減圧用試験空間を構成する下面が平板化されている押圧板と、
該押圧板を上下に駆動する複数のエアーシリンダーとを備え、
前記バーンインボードユニットは、
バーンインボードと、
コンタクト基板と、
減圧用試験空間を構成する真空チャンバー枠と、
前記テストトレーを搭載するトレー搭載ステージとを備え、
前記テストトレーは、
半導体デバイスを収容するソケットと、トレーフレームとを備え、
前記テストトレーのソケットは、
前記半導体デバイスを収容する半導体デバイス収容孔が形成されたICホルダーと、
該ICホルダーの下側に設置され、該ICホルダーに収容された前記半導体デバイスの端子をガイドする端子位置決めシートと、
半導体デバイス収容孔に収容された前記半導体デバイスを閉じ込めるソケット蓋とを備えた事を特徴とする、トレー交換式バーンイン試験ユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
審査官引用 (3件)
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「オントレーテストシステム 最新トレー交換方式の紹介」, 20151031
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「New Application for Burn-in board テストトレー搭載型バーンインボード」, 20150908
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「トレー交換方式BI-Tester実用化」, 20150908
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