特許
J-GLOBAL ID：201703006419686740
冷却装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
机 昌彦
, 下坂 直樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-501131
特許番号：特許第6169969号
出願日： 2012年02月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 冷媒を貯蔵し冷却対象物の熱を受容する受熱部の外壁の一部となる受熱部外壁部と、前記冷媒と接触する内壁側の底面である受熱部底面上に形成された複数の突起部、とを備えた基底部を形成し、
前記受熱部底面および前記突起部の表面からなる冷媒接触面に気泡核形成面を形成し、
前記基底部を覆う容器部を、前記気泡核形成面を有さない接合面において、前記基底部に接合することによって前記受熱部を形成し、
前記受熱部と、前記受熱部において前記冷媒が気化することによって発生する気相冷媒を凝縮液化させて放熱を行う放熱部とを連結し、
前記受熱部に前記冷媒を注入することにより、前記突起部の上端と前記容器部の底面との間に、前記気相冷媒を含む気相冷媒部を形成し、
前記基底部の形成は、前記受熱部外壁部の高さが、前記突起部の高さの1.1倍以上3.0倍以下となるように行い、
前記気泡核形成面の形成は、噴射ノズルの先端を前記突起部の上端と前記受熱部外壁部の上端の間に配置し、前記噴射ノズルから研磨粒子を噴射することによって行う
冷却装置の製造方法。
IPC (3件)：
F28D 15/02 ( 200 6.01)
, F28D 15/04 ( 200 6.01)
, H01L 23/427 ( 200 6.01)
F28D 15/02 101 L
, F28D 15/02 L
, F28D 15/02 106 Z
, F28D 15/04 A
, H01L 23/46 B
