特許

J-GLOBAL ID：201703006621233056

赤外光源素子

発明者： 山田 清高 ,  境 浩司 ,  飯井 良介 ,  若林 大介
出願人/特許権者： パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-021913
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153134
特許番号：特許第6198100号
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 上面の一部を開口する空隙部を有する半導体基板と、 前記半導体基板の上面に、前記空隙部の開口部を塞ぐように形成され、前記空隙部の上方においてダイヤフラム部を形成する薄膜部と、 前記薄膜部の上面に、前記ダイヤフラム部の上面と前記半導体基板の上面を含むように形成され、通電されることにより発熱する前記空隙部の上部で屈曲した帯状に形成され側面を有したヒータ部と、 前記ヒータ部の上面の全面に当接するように形成され、赤外線の放射率を安定化する黒化処理された金属材料またはセラミック材料からなる屈曲した帯状に形成され側面を有した放射膜と、 前記放射膜の上面に形成され、熱絶縁性を有し、前記ヒータ部と前記放射膜の側面を覆っている保護膜と を備えることを特徴とする赤外光源素子。

IPC (1件)：

G01N 21/01 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01N 21/01 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 赤外線光源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-348677   出願人：株式会社デンソー
• 赤外線放射素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-051005   出願人：パナソニック電工株式会社

審査官引用 (2件)

• 赤外線光源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-348677   出願人：株式会社デンソー
• 赤外線放射素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-051005   出願人：パナソニック電工株式会社