特許
J-GLOBAL ID：201703006873653619
吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 満
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-073376
公開番号（公開出願番号）：特開2014-197641
特許番号：特許第6201373号
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】底面と、
前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、
前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、
前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備え、
前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さく、
前記第1の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第2の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きい、
ことを特徴とする吸着コレット。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 21/52 ( 200 6.01)
H01L 21/68 B
, H01L 21/52 F
