特許
J-GLOBAL ID：201703007150407969
剥離装置および剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-063862
公開番号（公開出願番号）：特開2014-189350
特許番号：特許第6047439号
出願日： 2013年03月26日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 薄膜またはパターンを介して互いに密着した第1板状体と第2板状体とを剥離させる剥離装置において、
前記第1板状体のうち前記薄膜またはパターンが形成された有効領域の平面サイズよりも大きい保持面を有し、該保持面に前記第1板状体の表面のうち前記第2板状体と密着した面とは反対側の面を当接させて前記第1板状体を保持する保持手段と、
前記第2板状体の一端部を保持しながら前記保持手段から離間する方向に移動して、前記第2板状体の前記一端部を前記第1板状体から剥離させる第1剥離手段と、
前記第2板状体の前記一端部から該一端部と反対側の他端部に向かう剥離進行方向に直交する方向に前記第2板状体に沿って延設されたローラ状に形成され、前記剥離進行方向における前記一端部の下流側に隣接する当接開始位置で、前記第1板状体と密着した面とは反対側の前記第2板状体の一方面に当接するとともに、前記第2板状体に当接しながら前記当接開始位置から前記他端部に向けて前記剥離進行方向に移動する当接手段と、
前記剥離方向における前記当接開始位置の下流側で前記第2板状体の前記一方面に臨んで設けられ、前記当接手段が通過した後の前記第2板状体の前記一方面に部分的に当接して前記第2板状体を保持しながら前記保持手段から離間する方向に移動する第2剥離手段と
を備える剥離装置。
IPC (2件)：
B65H 41/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
B65H 41/00 B
, H01L 21/68 N
